Seto 1.67 Photokroomne lääts SHMC

1) Mis on spinn kate?

Spin -kattekiht on protseduur, mida kasutatakse ühtlaste õhukeste kilede hoiustamiseks lamedatele substraatidele. Tavaliselt rakendatakse substraadi keskele väike kogus kattematerjali, mis keerleb kas madalal kiirusel või ei keerle üldse. Seejärel pööratakse substraat kiirusega kuni 10 000 p / min, et levitada kattematerjali tsentrifugaaljõu abil. Spin -katteks kasutatavat masinat nimetatakse spinniks või lihtsalt spinneriks.
Pöörlemist jätkatakse, kui vedelik keerleb substraadi servadest, kuni kile soovitud paksus saavutatakse. Rakendatud lahusti on tavaliselt kõikuv ja aurustub samaaegselt. Mida suurem on ketruse nurkkiirus, seda õhem on kile. Kile paksus sõltub ka lahuse viskoossusest ja kontsentratsioonist ning lahustist. Spin-katte teedrajavat teoreetilist analüüsi viisid läbi Emslie jt ning seda on laiendanud paljud järgmised autorid (sealhulgas Wilson jt, kes uurisid spinn-kattes leviku kiirust; ja Danglad-Flores jt, kes leidsid a, kes leidsid a universaalne kirjeldus deponeeritud kile paksuse ennustamiseks).
Spin-katet kasutatakse laialdaselt funktsionaalsete oksiidikihtide mikrofrikatseerimisel klaasil või üksikkristallidel substraatidel, kasutades soolgeeli lähteaineid, kus seda saab kasutada nanoskaala paksusega ühtlaste õhukeste kilede loomiseks. [6] Seda kasutatakse intensiivselt fotolitograafias, et deponeerida umbes 1 mikromeetrit paksust fotoresisti kihtides. Fotoresisti kedratakse tavaliselt 20–80 pöörde korral sekundis 30–60 sekundit. Seda kasutatakse laialdaselt ka polümeeridest valmistatud tasapinnaliste fotooniliste struktuuride valmistamiseks.
Õhukeste kilede keerutamise üks eelis on kile paksuse ühtlus. Enesetasandi tõttu ei varieeru paksus rohkem kui 1%. Polümeeride ja fotoresistide spin -katte paksemad kiled võivad aga põhjustada suhteliselt suured servahelid, mille tasapinnal on füüsilised piirid.